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真空機器

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  • コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkineシリーズ コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkineシリーズ
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    ●コントローラ・電源一体型: コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計。出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要になります。面倒なケーブル引き回し作業が無くなり設置が簡単です。装置設計が自由になりコストダウンに貢献いたします。 ●バランスの良い排気性能で幅広いプロセスに適応: 広い真空領域で大流量排気が可能。優れた到達圧力高圧縮比。補助ポンプと同時起動で排気時間を短縮ができます。ロータ回転数を任意に設定可能(110~450rps)。プロセスに応じて排気能力を調整でき圧力調整バルブが不要になります。 ●省スペース化アクセス性の向上: 各種アクセス部(スイッチ、LED、ケーブル/配管接続部など)を前面に集約し作業効率改善。横、後ろの周囲スペースが削減でき装置のコンパクト化に貢献いたします。メンテナンス時のアクセスも容易です。 ●多様な通信対応: 複数の通信仕様から選択でき遠隔操作複数台制御もできます。(Parallel I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet) ●IP54標準対応:(防塵・防滴)標準対応

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品 科学機器・理化学機器

    株式会社 大阪真空機器製作所

  • 油回転真空ポンプ 油回転真空ポンプ
    • カタログ

    大気圧まで圧縮できる機械式真空ポンプの中でも、油回転真空ポンプは、経済的、効率的、かつ簡易な設備で運転できるため、世界中で広く使用されています。 ポンプ単体で簡単に真空状態を得ることができるほか、ルーツ真空ポンプと組合せて大排気速度の真空ポンプユニット(真空システム)、また真空設備の粗引用ポンプとして幅広く使用されています。 このように油回転真空ポンプは幅広い用途に適合でき、自動車、金属、鉄鋼、包装、食品、医薬品、医療、電気、電子、半導体、先端研究分野まで、あらゆる真空ニーズで活躍しています。 90M3/H~1800M3/H 機種 P90/P180/P222/P450/P600/P901/K30002

    対象業界: 自動車部品 食品・飲料 金属製品・金属部品

    株式会社 大阪真空機器製作所

  • ルーツ真空ポンプ ルーツ真空ポンプ
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    ルーツ真空ポンプとは、まゆ形ロータを回転させる事により 圧縮・排気を行う真空ポンプです。油回転真空ポンプなどの前段に取り付け排気速度を増大させる機械式真空ポンプ、ということからメカニカルブースターとも呼ばれます。ルーツ真空ポンプは通常、大気圧まで圧縮できる真空ポンプと組み合わせて使用します。 90M3/H~1200M3/H 機種 RA100/RD302/RD600/RD1200/RD1500/RD2500/R6002/ R12001

    対象業界: 自動車部品 食品・飲料 金属製品・金属部品

    株式会社 大阪真空機器製作所

  • 姿勢自在形複合分子ポンプ TGFシリーズ 姿勢自在形複合分子ポンプ TGFシリーズ
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    玉軸受け方式でありながら完全取付姿勢自在です。 さらに小型・軽量ですので装置レイアウトの自由度が格段に広がります。 丈夫な構造が特徴で、加速度に対する耐性も高く、装置全体を移動しながら運転することも可能です。 また突発的な大気突入などの衝撃にも強く、従来のTMPのイメージを大きく変えました。 充実した機種バリエーションで、小型から大型まで取付姿勢自在形をラインアップしています。 姿勢自在型複合分子ポンプ 50L/S~2400L/S 機種 TG50F/TG60F/TG70F/TG220F/TG240F/TG350F/ TG450F/TG800F/TG1100F/TG1400F/TG2400F/ TG2410F

    対象業界: 金属製品・金属部品 自動車部品 半導体・液晶・FPD

    株式会社 大阪真空機器製作所

  • 電子エネルギー分析システム(CMA) / KITANO SEIKI 電子エネルギー分析システム(CMA) / KITANO SEIKI
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    分析機器としては、非常にコンパクトな『KCMA2009』。本体と電源及び測定用ソフトウエアを標準装備しております。真空チャンバーの空きポートに簡単に接続され、スペースを全く取らない、電子銃内蔵型の電子エネルギー分析システムとなります。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品 精密機器

    北野精機株式会社

  • 超高精度5軸マニピュレーター / KITANO SEIKI 超高精度5軸マニピュレーター / KITANO SEIKI
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    本機構「超高精度5軸マニピュレーター」は、極高真空領域対応型XYZR1R2軸方向移動機構です。高精度な機構を組み合わせることにより、真空中にある試料を精密かつ再現性良く移動・操作させることが可能です。 オプションであるサンプル加熱/冷却機構または、モーター駆動機構などを組み合わせることにより、研究開発目的に適した試料等の処理や移動・操作を御提案いたします。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品 精密機器

    北野精機株式会社

  • 極・超高真空チャンバー / KITANO SEIKI 極・超高真空チャンバー / KITANO SEIKI
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    北野精機では、お客様の多岐に渡る研究用途に合わせて、高真空、超高真空、さらには極高真空の領域まで各種真空チャンバーを制作しています。真空チャンバーの形や使用するステンレス鋼の材質は、実験の内容に応じて豊富な種類の中から最適なものを選択。分岐機器や計測機器の取り付け用ポートの設定も、数や角度、位置などきめ細かくご指定いただけます。さらに、特別な加工が必要となる等どのようなご要望に対しても、設計から加工、表面処理、ペーキング処理、洗浄、組立、リークテスト、真空立ち上げまでの一貫体制で、的確にお応えします。

    対象業界: 自動車部品 電子部品・電気部品 精密機器

    北野精機株式会社

  • 有機EL用蒸着セル / KITANO SEIKI 有機EL用蒸着セル / KITANO SEIKI

    精密なコントロールが極めて安定して動作可能です。直接加熱方式により、低温領域において優れた温度応答性と温度安定性を備えております。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品

    北野精機株式会社

  • 有機EL用成膜装置 (KVD-OLED Evo.Cluster) / KITANO SEIKI 有機EL用成膜装置 (KVD-OLED Evo.Cluster) / KITANO SEIKI
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    有機EL成膜用の有機蒸着セル(KOD-Cell)が16台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品

    北野精機株式会社

  • 有機EL用成膜装置(KVD-OLED Evo.3) / KITANO SEIKI 有機EL用成膜装置(KVD-OLED Evo.3) / KITANO SEIKI
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    有機材料(有機EL)成膜用の有機蒸着セル(KOD-Cell)が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。本システムは、全自動式である為、多種多様な研究が行える多目的研究開発用装置となります。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品

    北野精機株式会社

  • 有機EL用成膜装置(KVD-OLED Evo.2) / KITANO SEIKI 有機EL用成膜装置(KVD-OLED Evo.2) / KITANO SEIKI
    • カタログ

    有機材料成膜用の有機蒸着セル(KOD-Cell)が8台、金属材料蒸着の際には、金属蒸着セルが同部屋に標準装備されます。有機用、金属用と共通して少量サイズのルツボにて構成されており、装置チャンバー内に極力チャンバー汚染をしない事に重点を置いた設計になっております。また、グローブボックスへ接続可能なシステムです。本システムは、有機材料と金属材料が同じ部屋にて成膜可能なハイブリット型蒸着装置となります。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品

    北野精機株式会社

  • ビームフラックスモニター 「KFM-70」 / KITANO SEIKI ビームフラックスモニター 「KFM-70」 / KITANO SEIKI
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    ビームフラックスモニターは小型B・Aゲージをセンサーとして分子線のビーム強度を測定するものです。MBE装置等にて使用されます。 回転導入期を使用したコンパクトな設計でICF-70サイズの取付けフランジを実現。お客様の仕様に合わせてストローク等変更可能です。 【仕様】 ○センサー:ミニチュアB-Aゲージ ○回転角度:±180℃ ○取付けフランジ:ICF-70(タップ付) ○ベーキング温度:200℃(コネクタ部除く) ○オプション:上下機構 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品 製鉄・鉄鋼業・金属材料

    北野精機株式会社

  • スピンスプレー薄膜作製装置 / KITANO SEIKI スピンスプレー薄膜作製装置 / KITANO SEIKI
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    フェライトめっきとは、室温〜90℃の水溶液中で、直接強磁性フェライト膜を作製できる革新的技術です。・1983年に東京工業大学 阿部正紀研究室で発明されて以来工夫を重ね、各種の薄膜磁性デバイス、バイオ・メディカルデバイスへの応用開発がなされ、一部は実用化されました。Fe2+イオンとNi2+などのイオンを原料として、Fe2+→Feの酸化反応を利用し各種のフェライトの薄膜作を可能にしたのが、フェライトめっき法の独創的なポイントです。最大ポイントは基板表面のOH基と金属イオンが共有結合性の化学結合を行う(単なる物理吸着ではない)ために強固な付着力が得られます。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 精密機器 金属製品・金属部品

    北野精機株式会社

  • TEMホルダー 「透過型電子顕微鏡用試料ホルダー」 / KITANO SEIKI TEMホルダー 「透過型電子顕微鏡用試料ホルダー」 / KITANO SEIKI
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    北野精機では、透過型電子顕微鏡(Transmission Electron Microscopy:TEM)の実験的な機器・部品を幅広く提供しています。これらの製品は、生物、高分子、セラミックス、半導体、金属など多くの分野における基礎研究をはじめ、新製品の開発やその評価などに幅広く利用されております。特にTEMホルダーは、研究者の要求に独自のアイデアを注入し、共同で開発され試料内部の形態・結晶構造・組成・電子状態などの高分解能イメージングを可能にすることができます。また、その他の要求仕様・研究開発目的に応じた特殊機構もご気軽にお問い合わせください。 【特徴】 ○共同で開発され試料内部の形態・結晶構造・組成・電子状態などの高分解能イメージングを実現 ○その他の要求仕様・研究開発目的に応じた特殊機構の試作・共同開発 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 電子部品・電気部品 製鉄・鉄鋼業・金属材料

    北野精機株式会社

  • ドライ真空ポンプ DIS/DISLシリーズ ドライ真空ポンプ DIS/DISLシリーズ
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    • 代理店募集
    • 提携先募集

    アルバック機工株式会社では販売代理店を随時募集しております。是非お問い合わせください。 【概要】 ●大排気量でコンパクトサイズの真空ポンプ ●ドライ真空ポンプとしては最高レベルの到達圧力 ●エアーフラッシュにより水分凝縮を抑止

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 計測・分析機器 産業用機械・装置

    Ulvac Singapore Pte Ltd.

  • ドライ真空ポンプ DOPシリーズ ドライ真空ポンプ DOPシリーズ
    • カタログ
    • 代理店募集
    • 提携先募集

    アルバック機工株式会社では販売代理店を随時募集しております。是非お問い合わせください。 【概要】 ●吸着搬送に最適な真空ポンプ ●大排気量・コンパクトな真空ポンプ ●接ガス部は油いらずのドライ真空ポンプ ●大気圧からの作動が可能な真空ポンプ ●シンプル構造 ●メンテナンスが簡単な真空ポンプ

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 計測・分析機器 産業用機械・装置

    Ulvac Singapore Pte Ltd.

  • ドライ真空ポンプ DTCシリーズ ドライ真空ポンプ DTCシリーズ
    • カタログ
    • 代理店募集
    • 提携先募集

    アルバック機工株式会社では販売代理店を随時募集しております。是非お問い合わせください。 【概要】 ●有機溶剤や腐食性ガスの吸引に対応した、ドライ真空ポンプのケミカルタイプ ●自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計の真空ポンプ ●大気圧から作動が可能な真空ポンプ ●シンプル構造で、メンテナンスが簡単な真空ポンプ

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 計測・分析機器 産業用機械・装置

    Ulvac Singapore Pte Ltd.

  • ドライ真空ポンプ DAU/DTUシリーズ ドライ真空ポンプ DAU/DTUシリーズ
    • カタログ
    • 代理店募集
    • 提携先募集

    アルバック機工株式会社では販売代理店を随時募集しております。是非お問い合わせください。 【概要】 ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●到達圧力性能を向上させた、ドライ真空ポンプの高真空タイプ ●ターボ分子ポンプの補助ポンプに使用可能な真空ポンプ ●自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計の真空ポンプ ●大気圧から作動が可能な真空ポンプ ●シンプル構造で、メンテナンスが簡単な真空ポンプ

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 計測・分析機器 産業用機械・装置

    Ulvac Singapore Pte Ltd.

  • ドライ真空ポンプ DAP/DA/DATシリーズ ドライ真空ポンプ DAP/DA/DATシリーズ
    • カタログ
    • 代理店募集
    • 提携先募集

    アルバック機工株式会社では販売代理店を随時募集しております。是非お問い合わせください。 【概要】 ●豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ ●接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ ●自動復帰型サーマルプロテクター内蔵による安全設計の真空ポンプ ●大気圧から作動が可能な真空ポンプ ●シンプル構造で、メンテナンスが簡単な真空ポンプ

    対象業界: 半導体・液晶・FPD 計測・分析機器 産業用機械・装置

    Ulvac Singapore Pte Ltd.

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