塗装装置/表面処理装置/関連製品 製品・サービス

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塗装装置/表面処理装置/関連製品

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  • プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』 プラズマクリーナー装置『SPE-2136A』

    『SPE-2136A』はφ4~φ6インチウエハに対し、 残渣除去・表面改質・アッシング処理が可能なプラズマクリーナー装置です。 自動搬送機構が付属しており、ウエハ割れの防止や ウエハ移載にかかる人件費・作業時間を削減可能。 プロセス室はウエハを2枚同時に処理でき、 高いスループットを実現しています。 【特長】 ■1400(W)×3000(D)×1900(H)mmのコンパクト設計 ■分布はウエハ内±5%以下 ■SAWデバイスなどの極薄圧電ウエハにも対応 ■Arプラズマクリーニングもオプションでご用意 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

    対象業界: 電子部品・電気部品 半導体・液晶・FPD 自動車部品

    株式会社昭和真空

  • アーク放電型イオンプレーティング装置 アーク放電型イオンプレーティング装置

    昭和真空のアーク放電型イオンプレーティング装置「SIA-400T」は、工具・刃物・金型への「硬化膜」及び、「装飾膜」に最適なホロカソードタイプをバージョンアップしたものです。

    対象業界: 電子部品・電気部品 機械部品 金属製品・金属部品

    株式会社昭和真空

  • 原子層堆積装置 原子層堆積装置

    昭和真空の原子層堆積装置「ALD-Series」は、単原子層を1サイクルで成膜し、サイクルを繰り返すことにより薄膜を形成するALD(Atomic Layer Deposition)技術を用いた装置です。原子層レベルの均一なレイヤーコントロールが可能となり、高品質かつ段差被覆性の高い薄膜を形成する事が可能です。

    対象業界: 電子部品・電気部品 光学機器・光学部品 樹脂・プラスチック・ゴム製品

    株式会社昭和真空

  • ホローカソード方式 イオンプレーティング装置 ホローカソード方式 イオンプレーティング装置

    昭和真空のホローカソード方式イオンプレーティング装置「SIH-400T」は、アクセサリーなどの装飾膜成膜、 工具の硬化膜成膜に最適です。

    対象業界: 自動車部品 機械部品 金属製品・金属部品

    株式会社昭和真空

  • 射出成形機連動型高速スパッタ・重合システム 射出成形機連動型高速スパッタ・重合システム

    昭和真空の射出成形機連動型高速スパッタ・重合システム 「SPP-SERIES」は、樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能な成膜装置です。

    対象業界: 自動車部品 金属製品・金属部品 樹脂・プラスチック・ゴム製品

    株式会社昭和真空

  • イオンプレーティング装置 イオンプレーティング装置

    昭和真空のイオンプレーティング装置「SIP-1600」は、装飾・塗装のドライ化や増産をご検討中のお客様向けの樹脂基板へ金属膜を成膜する装置です。

    対象業界: 自動車部品 金属製品・金属部品 樹脂・プラスチック・ゴム製品

    株式会社昭和真空

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