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製品・サービス情報

  • 姿勢自在形複合分子ポンプ TGFシリーズ 姿勢自在形複合分子ポンプ TGFシリーズ
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    玉軸受け方式でありながら完全取付姿勢自在です。 さらに小型・軽量ですので装置レイアウトの自由度が格段に広がります。 丈夫な構造が特徴で、加速度に対する耐性も高く、装置全体を移動しながら運転することも可能です。 また突発的な大気突入などの衝撃にも強く、従来のTMPのイメージを大きく変えました。 充実した機種バリエーションで、小型から大型まで取付姿勢自在形をラインアップしています。 姿勢自在型複合分子ポンプ 50L/S~2400L/S 機種 TG50F/TG60F/TG70F/TG220F/TG240F/TG350F/ TG450F/TG800F/TG1100F/TG1400F/TG2400F/ TG2410F

  • 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ 磁気軸受形複合分子ポンプ TG-Mシリーズ
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    磁気軸受形 ターボ分子ポンプ TG-Mシリーズ 幅広い用途に対応するため、磁気軸受形複合分子ポンプは誕生しました。 磁気の力で回転体を非接触で制御することにより、取付姿勢自在、低振動、完全オイルフリーといった理想的な真空ポンプが実現しました。 また摺動部品が無くなったことでメンテナンスサイクルの長期化に結びつきました。 磁気軸受形複合分子ポンプ 390L/S~2400L/S 機種 TG390M/TG420M/TG90M/TG1300M/TG2400M

  • コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkineシリーズ コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ TGkineシリーズ
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    ●コントローラ・電源一体型:  コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計。出力ケーブルや別置きコントローラが無くなりケーブルダクトやコントローララックが不要になります。面倒なケーブル引き回し作業が無くなり設置が簡単です。装置設計が自由になりコストダウンに貢献いたします。 ●バランスの良い排気性能で幅広いプロセスに適応:  広い真空領域で大流量排気が可能。優れた到達圧力高圧縮比。補助ポンプと同時起動で排気時間を短縮ができます。ロータ回転数を任意に設定可能(110~450rps)。プロセスに応じて排気能力を調整でき圧力調整バルブが不要になります。 ●省スペース化アクセス性の向上: 各種アクセス部(スイッチ、LED、ケーブル/配管接続部など)を前面に集約し作業効率改善。横、後ろの周囲スペースが削減でき装置のコンパクト化に貢献いたします。メンテナンス時のアクセスも容易です。 ●多様な通信対応:  複数の通信仕様から選択でき遠隔操作複数台制御もできます。(Parallel I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet) ●IP54標準対応:(防塵・防滴)標準対応

企業情報

株式会社 大阪真空機器製作所 株式会社 大阪真空機器製作所
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